运行检查
对玻璃外壳真空灭弧室，巡视检查时可以定期目测。正常时内部的屏蔽罩等部件表面颜色应很明亮，在开断电流时发出浅蓝色弧光；当真空度下降很严重时，内部颜色就会变得灰暗，开断电流时将发出暗红色弧光。

试验检查
工频耐压试验：定期（1～3年左右）进行一次工频耐压试验（42kV/min）。当动静触头满足额定开距条件时，如果耐压很低，达不到规定耐压标准，就说明真空灭弧室真空度已严重下降，不能继续使用。
真空度测试仪检查：用真空度测试仪定期测量灭弧室真空度，真空度下降超过规定数值，可再做一次真空的耐压试验，进行再次确认其完好性。

技术数据的检查
真空断路器不进行周期大修，但检查维护必须开展，对断路器的各项技术进行定期实际测量，以判断其传动系统的状况。

断路器的特性试验
定期对断路器的特性进行试验，以检查行程、弹跳、速度等关键数据的变化，及时调整，消除隐患。