 测试该电感器的直流电阻（Rdc）与设计值基本吻合。工作于2GHz螺丝电感器的匝数与Q值，电感量（L）的关系见图6所示。3.5匝螺线电感器得到的Q值等于29.4，这个Q值比原来的线电感器的Q值（=3~10）高得多，表明了使用WLP技术可以制得高性能的电感器。同时，从图6可以看到，3.5匝的螺线电感器在2GHz时有L=5.0nH电感值。实测的Q值、L值与设计的Q值、L值比较，其公差分别在10%和2%以内，可见用磁场模拟设计软件和WLP工艺技术，是可以设计、制造出高精度的电感器的。  电感器的特性参数，采用先进的设计系统（ADS）求出。所用的等效电路是普通的π型等效电路。测试结果确认：在3.5匝螺线电感器中的RSi值约为5kΩ。应用6层铝（Al）线由CMOS工艺制作的片式电感器的RSi为数百Ω。很明显，厚膜树脂层有良好的分离电感器与硅基片的作用。 (责任编辑：admin) |